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设备型号：MQP-3001

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设备型号：MQP-6001

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设备型号：MQP-8001（前开门式）

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设备型号：MQP-9001
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玛奇


       Parylene 真空涂敷设备参数表

设备型号

主要参数

MQP-3001

MQP-5001Q

MQP-6001

MQP-7001

MQP-8001

MQP-9001

电压

三相380V 50Hz

功率

6Kw

       6kw

6Kw

8Kw

10Kw

10Kw

外形尺寸

2000*1500*1000mm

3000*1800*1500mm

腔体尺寸

Φ320*H320mm

Φ500*H700mm

Φ550*H750mm

Φ650*H800mm

Φ750*H900mm

Φ850*H900mm

适用材料

型号；Parylene N/C/D/F

成膜速率

C型≥5 μm/h   N型≥0.8 μm/h   D型≥5 μm/h   F型≥5 μm/h

沉积膜层厚度

0. 001-100 μm

0. 1-50 μm

膜厚均匀性

优于2%

优于5%

腔室真空度

≤ 2.0 * l-2Torr

配套装置

1、表面预处理偶联剂工艺1套，促进Parylene膜层与基材的附着力。

2、腔体内带载物治具，可以滚镀、摆镀、吊镀，任意选用。

安全装置

设备带有自锁功能，设备在运行过程中出现异常，设备会报警并且停止运行。

主要结构

设备系统主要有真空抽气及测量系统、蒸发室、裂解室、

沉积室加热系统、高温石英管管道系统、冷阱过滤系统，PLC控制系统及辅助系统等组成。
 玛奇是一家专业从事派瑞林（Parylene）真空镀膜设备研发、销售、生产和服务于一体的高新技术企业。公司与国内外多所高校、研究院及业内专家有良好的合作，依托于其强大的技术研发团队公司不断地提高Parylene设备制造能力、精进涂敷技术，为广大客户提供更优质的Parylene镀膜加工以及配套的自动化智能装备定制服务。

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