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MQP-7001

商品说明

设备型号主要参数	3001	6001	7001	8001	9001
电压	三相380V 50Hz
力量	3KW	5KW	8KW	10KW	10KW
外形尺寸	200015001000mm		300018001500mm
型腔尺寸	ø320*320mm	ø550*700mm	ø650*800mm	ø750*900mm	ø850*900mm
适用材料	型号: Parylene N/C/D/F
成膜率	C型≥5μm/h N 型≥0.8μm/h D 型≥5μm/h F 型≥5μm/h
沉积膜厚度	0.001-100μm		0.1-50μm
涂层厚度均匀度	优于 2%		优于 5%
腔体真空度	≤3.0*1^-2Torr
配套设备	1、表面预处理偶联剂工艺1套，促进Parylene膜层与基材的附着力。2、腔体内带载物治具，可以滚镀、摆镀、调镀，任意选用。
安全设备	设备具有自锁功能，运行过程中若出现异常，设备将报警并停止运行。
MainStru 主要结构	主要由抽真空及测量系统、真空腔系统、蒸发室、裂解室、沉积室加热系统、高温石英管系统、冷阱过滤系统、PLC控制系统及辅助系统组成。

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玛奇是一家专门从事派瑞林（Parylene）真空镀膜设备研发、销售、生产和服务于一体的高新技术企业。公司与国内外多所高校、研究院及业内专家有良好的合作，依托于其强大的技术研发团队公司不断地提高Parylene设备制造能力、精进涂敷技术，为广大客户提供更优质的Parylene镀膜加工以及配套的自动化智能装备定制服务。

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